നൈട്രജൻ ട്രൈഫ്ലൂറൈഡ് (NF3) ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള വാതകം

ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിലെ ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റ്: അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, പ്ലാസ്മ ഡിസ്പ്ലേ പാനലുകൾ (പിഡിപികൾ), മറ്റ് ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങൾ എന്നിവയുടെ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് ഓക്സൈഡുകൾ പോലുള്ള അവശിഷ്ട മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഒരു ക്ലീനിംഗ് ഏജൻ്റായി NF3 വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ ഉപരിതലങ്ങൾ കേടുപാടുകൾ കൂടാതെ ഫലപ്രദമായി വൃത്തിയാക്കാൻ ഇതിന് കഴിയും.

അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ എച്ചിംഗ് ഗ്യാസ്: അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ എൻഎഫ് 3 ഒരു എച്ചിംഗ് വാതകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇൻ്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന സാധാരണ വസ്തുക്കളായ സിലിക്കൺ ഡയോക്സൈഡ് (SiO2), സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് (Si3N4) എന്നിവ കൊത്തിവയ്ക്കുന്നതിൽ ഇത് പ്രത്യേകിച്ചും ഫലപ്രദമാണ്.

ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള ഫ്ലൂറിൻ സംയുക്തങ്ങളുടെ ഉത്പാദനം: ഫ്ലൂറിൻ അടങ്ങിയ വിവിധ സംയുക്തങ്ങളുടെ ഉൽപാദനത്തിനുള്ള ഫ്ലൂറിൻ വിലയേറിയ സ്രോതസ്സാണ് NF3. ഫ്ലൂറോപോളിമറുകൾ, ഫ്ലൂറോകാർബണുകൾ, സ്പെഷ്യാലിറ്റി കെമിക്കൽസ് എന്നിവയുടെ ഉത്പാദനത്തിൽ ഇത് ഒരു മുൻഗാമിയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ നിർമ്മാണത്തിൽ പ്ലാസ്മ ജനറേഷൻ: ലിക്വിഡ് ക്രിസ്റ്റൽ ഡിസ്പ്ലേകളും (എൽസിഡി) പിഡിപികളും പോലെയുള്ള ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേകളുടെ ഉത്പാദനത്തിൽ പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കാൻ മറ്റ് വാതകങ്ങൾക്കൊപ്പം NF3 ഉപയോഗിക്കുന്നു. പാനൽ ഫാബ്രിക്കേഷൻ സമയത്ത് ഡിപ്പോസിഷൻ, എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ പ്ലാസ്മ അത്യന്താപേക്ഷിതമാണ്.

ഈ മെറ്റീരിയലിൻ്റെ/ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ ഉപയോഗത്തിനുള്ള പ്രത്യേക ആപ്ലിക്കേഷനുകളും നിയന്ത്രണങ്ങളും രാജ്യം, വ്യവസായം, ഉദ്ദേശ്യം എന്നിവ അനുസരിച്ച് വ്യത്യാസപ്പെടാം. ഏതെങ്കിലും ആപ്ലിക്കേഷനിൽ ഈ മെറ്റീരിയൽ/ഉൽപ്പന്നം ഉപയോഗിക്കുന്നതിന് മുമ്പ് എല്ലായ്പ്പോഴും സുരക്ഷാ മാർഗ്ഗനിർദ്ദേശങ്ങൾ പാലിക്കുകയും ഒരു വിദഗ്ദ്ധനെ സമീപിക്കുകയും ചെയ്യുക.